我执在小乘部派佛教里有各种说法。有部设人我、法我二我，否定作为个体生命的我(人我)，但认为有构成存在要素的实体的我(法我)。犊子部、正量部等认为有一种非即非离蕴的我，这种我既非带有五蕴假合而成的个体(蕴)，也非五蕴以外称为我的(离蕴)，而是同五蕴非即非离的我。
经量部又有胜义补特伽罗之说。《成唯识论》卷一把佛教以外以及部派佛教里的各种我的说法分成三类：即蕴我(世间一般说法)，离蕴我(数论、胜论、经量部等)，非即非离蕴我(犊子部、正量部等)，并一一予以破斥。大乘佛教不仅否定人我，而且也否定法我。
五蕴诸法，但有假名，如幻虚假，无有定实，说人法二无我，一切皆无自性空。《成唯识论》把我执和法执各分为俱生起和分别起两种。俱生起，指无始以来熏习于虚妄分别，由此为内因，出生后存于六、七二识，起任运妄执。第七识的妄执相续不断，第六识的妄执时有间断。分别起，指由非理学说和见解而起的妄执，存于第六识的妄分别。
因为同一烦恼有我执和法执两个方面，所以分别立为烦恼障和所知障。即迷于诸法的体者谓所知障，迷于诸法的用者谓烦恼障。比如，有情皆为五蕴假合，如果对之而起贪爱，这就是对五蕴如幻虚假不能通达。由此不能通达便对五蕴假合的有情，和对起贪爱产生惑障，前者是迷于法体的法执，即所知障，后者是迷于法的用的我执，即烦恼障。如果悟觉五蕴之体如幻虚假，那么对这假合的有情也就不会起贪爱了。因此说我执依法执而起，烦恼障依所知障而起。