三法印这个概念，早在唐朝之前，在汉传佛教中已被确立。隋代天台智者大师在《法华玄义》中就有这么的记载：“《释论》云：诸小乘经，若有无常、无我、涅盘三印，印定其说，即是佛说，若无此三法印之，即是魔说。如世之公文，得印可信，故名三法印。”
智者大师说：“无常印谓：世间生死及一切法，皆是无常，众生不了，于无常法中执为常想;是故，佛说无常，破其执常之倒，是名无常印。无我印谓：世间生死及一切法，皆是因缘和合而有，虚假不实，本无有我，众生不了于一切法强立主宰，执之为我;是故，佛说无我，破其着我之倒，是名无我印。涅盘印，梵语涅盘，华言灭度;谓：一切众生不知生死是苦，而更起惑造业，流转三界。是故，佛说涅盘之法，令其出离生死之苦，而得寂灭之乐，是名涅盘印。”
后世的学者，将智者大师于《法华玄义》的另一理念“一实相印”加入三法印之中，而成“四法印”。《法华玄义》说：“一实相之理，无二无别，离诸虚妄之相也，如世之公文，得印可信，盖如来所说诸大乘经，皆以实相之理，印定其说，外道不能杂，天魔不能破。若有实相印，即是佛说;若无实相印，即是魔说。”就这样，从小乘的“三法印”演变成大乘的“四法印”：诸法无常、诸法无我、诸法实相、涅盘寂灭。
佛陀说《无我经》时，没有提及涅盘，只提及解脱之道，因此依《无我经》的三法印，也就没有涅盘寂静了。后来依《涅盘经》加入“涅盘寂静”而成“四法印”。也有些上座部学者，认为“四念住”就是四法印。观身不净、观受是苦、观行无常、观法无我，这不净、苦、无常、无我和涅盘四德常、乐、我、净，成了鲜明的对立与统一。涅盘四德于世间法成为“四颠倒”，不净、苦、无常、无我却成了“四法印”。